Self assembly of high resolution (sub 10 nm) block copolymers in a microelectronics context

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Mots clés : greenchips lithography

Ajouté par : Andres Mauricio Caceres Sepulveda
Mis à jour le : 18 avril 2024 11:12
Type : Conférences
Langue principale : Anglais
Public : Autre
Discipline(s) :
- Environnement, Matériaux, Physique, Terre
- Ingénierie

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Self assembly of high resolution (sub 10 nm) block copolymers in a microelectronics context

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